| 专利名称 | 尾气回收系统及其换热器 | 申请号 | CN201310122377.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103212270A | 公开（授权）日 | 2013.07.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 朱建军;周礼誉;张永红 | 主分类号 | B01D53/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B01D53/00(2006.01)I;F25J3/08(2006.01)I;F25J5/00(2006.01)I;C01C1/12(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I | 专利有效期 | 尾气回收系统及其换热器 至尾气回收系统及其换热器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及半导体制作技术，提供一种换热器，用于尾气处理，其包括尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。本发明还提供采用这种换热器组装的尾气回收系统。本发明不仅解决了MOCVD尾气对环境的污染问题，节省原材料消耗，降低成本，还能实现尾气零排放，促进半导体照明产品早日替代传统照明产品，实现绿色环保的目标。 |
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