金和铁掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻

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专利名称 金和铁掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻 申请号 CN201310125877.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103208341A 公开(授权)日 2013.07.17 申请(专利权)人 中国科学院新疆理化技术研究所 发明(设计)人 范艳伟;周步康;陈朝阳;王军华 主分类号 H01C7/04(2006.01)I IPC主分类号 H01C7/04(2006.01)I 专利有效期 金和铁掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻 至金和铁掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种金和铁掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,该热敏电阻以金和铁的金属盐作为扩散源,采用开管涂源式高温气相扩散的方法,将金和铁两种杂质扩散进N型单晶硅中,利用金和铁在硅中形成补偿能级的特性制备出单晶硅热敏材料,再通过化学镀镍电极、划片、封装制备成高B值单晶硅负温度系数热敏电阻。将得到的热敏电阻进行电学性能测试,其电学参数R25℃=84KΩ-129KΩ,B25℃/50℃=6240K-6680K。

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