| 专利名称 | 一种载片台 | 申请号 | CN201210013942.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103208409A | 公开（授权）日 | 2013.07.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 席峰;李楠;李勇滔;张庆钊;夏洋 | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 专利有效期 | 一种载片台 至一种载片台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种载片台，属于等离子体工艺技术领域。该载片台包括腔室、腔室上盖、电极、芯片固定盘、固定盘支撑环和支撑盘。该载片台的芯片固定结构包括芯片固定盘和固定盘支撑环，能够减小或避免等离子体启辉时由于结构不对称而引起的不均匀现象，简化匀气结构，在等离子体启辉条件下，本发明提供的载片台没有出现放气现象，因此，可以保持芯片对腔室真空度的要求。 |
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