| 专利名称 | 光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 | 申请号 | CN201310126184.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103197511A | 公开（授权）日 | 2013.07.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 谢承科;陈明;杨宝喜;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 至光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法，装置由光源、起偏器、分束镜、测量光衰减片、转动控制器、待测能量传感器、参考光衰减片、参考能量传感器、多功能信号处理卡和计算机组成，该测量装置可分别对光刻机能量传感器的重复性、能量线性度和频率线性度进行高精度测量；本发明具有测量方法简单、易实现，成本低的特点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障