| 专利名称 | 具有角度调节功能的样品托 | 申请号 | CN201310093590.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103198997A | 公开（授权）日 | 2013.07.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 刘媛媛;杨富华 | 主分类号 | H01J49/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/04(2006.01)I | 专利有效期 | 具有角度调节功能的样品托 至具有角度调节功能的样品托 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种具有角度调节功能的样品托，包括：一基台，在圆心的直径方向有一条V形固定槽；一角度调节杆，为矩形结构，与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起，该三角凸起与基台上的V形固定槽配合；一弹簧，其一端位于基台上的通孔内，另一端位于角度调节杆上的第一通孔内，该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定；一螺杆，穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。本发明具有一维调节角度功能的样品托，从而与厂家标配的样品台进行配合，实现样品的6维调节功能。 |
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