一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法

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专利名称 一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法 申请号 CN201310136499.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103196929A 公开(授权)日 2013.07.10 申请(专利权)人 中国科学院高能物理研究所 发明(设计)人 王雅霄;魏存峰;舒岩峰;阙介民;孙翠丽;王哲;曹大泉;孟凡辉 主分类号 G01N23/04(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/04(2006.01)I 专利有效期 一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法 至一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法。X射线源位于所述装置的最底端,用于向上发射锥束X射线;载物台设置在所述X射线源的上方,在空间三维方向上作平移运动;载物台的正上方设置有所述固定架,固定架与所述转臂相连,使所述转臂做圆周旋转运动;所述转臂上设置有导轨,平板探测器位于该导轨上,利用该导轨在所述转臂上滑动;且平板探测器结合其在转臂上的滑动以及转臂的圆周旋转运动,定位于所形成半球面的任意位置。该扫描装置灵活多变,能够在多种扫描倾角、360度旋转角、以及多种放大比条件下对板状构件样品进行断层成像,并最大限度的简化系统的机械运动复杂度,提高系统性能。

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