| 专利名称 | 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法 | 申请号 | CN201210001926.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103194715A | 公开（授权）日 | 2013.07.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王文东;黄春;闫坤坤;夏洋 | 主分类号 | C23C4/12(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法 至一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种大气等离子体喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法，属于等离子喷涂技术领域。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，将Al2O3粉末和Y2O3粉末均匀混合，造粒得到Y3Al5O12粉末；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过大气等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出非晶Y3Al5O12涂层。本发明使用大气等离子喷涂方法来制备非晶Y3Al5O12耐侵蚀陶瓷涂层，通过调节喷涂参数，获取优化的工艺条件进行喷涂，从而得到性能良好的非晶Y3Al5O12涂层。 |
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