| 专利名称 | 铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置 | 申请号 | CN201220729897.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203038961U | 公开（授权）日 | 2013.07.03 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明（设计）人 | 宋秋明;张军;李朝辉;顾光一;陈旺寿;方刚;谭兴;吕文博;肖旭东 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I | 专利有效期 | 铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置 至铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化，包括退火炉、盖体及加热灯管；所述退火炉为盒状结构，所述退火炉包括开口端；所述盖体可转动地连接于所述退火炉的开口端，所述退火炉与所述盖体共同围成密闭的退火腔；所述加热灯管收容于所述退火腔中，并设置于所述盖体上。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置中，加热灯管收容于退火腔中，退火腔密封且体积较小，使得退火腔中的温度较高，提高了硒的蒸汽压，节省了硒或硫的用料，降低了成本。同时，加热灯管更靠近基片，具有较高的升温速率，保证所得铜铟镓硒薄膜的质量。 |
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