| 专利名称 | 宽带偏振光谱仪和光学测量系统 | 申请号 | CN201110444985.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103185638A | 公开（授权）日 | 2013.07.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 | 发明（设计）人 | 李国光;刘涛;赵江艳;吴文镜;王林梓;马铁中;夏洋 | 主分类号 | G01J3/447(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/447(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 宽带偏振光谱仪和光学测量系统 至宽带偏振光谱仪和光学测量系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。 |
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