专利名称 | 一种包含新型放电腔的激光光源系统 | 申请号 | CN201220461906.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN203026784U | 公开(授权)日 | 2013.06.26 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电研究院 | 发明(设计)人 | 陈进新;王宇 | 主分类号 | H01S3/032(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/032(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I | 专利有效期 | 一种包含新型放电腔的激光光源系统 至一种包含新型放电腔的激光光源系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种包含放电腔的激光光源系统,属于气体激光技术领域,解决了现有高压脉冲电源中,因外部条件限制激光光源系统更大能量、更高重频的发展要求的技术问题。该激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成。所述放电腔由内、外两圈组成。所述外圈固定不动,安装有多个高压电源及电极,每个高压电源对应一个所述外圈上安装的电极。所述内圈由电机带着旋转,并且所述内圈上安装有多个电极,所述内圈上安装的电极与所述外圈上安装的电极形成阴阳电极。本实用新型通过改变放电腔外圈的高压电源及电极数量和位置、放电腔内圈的电极数量和位置、内圈旋转速度、放电腔外圈的高压电源放电时序,使更大能量和更高重频的激光输出成为可能。 |
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