霍尔及气敏测量装置

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专利名称 霍尔及气敏测量装置 申请号 CN201110442319.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103176146A 公开(授权)日 2013.06.26 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 康升红;吴兵;李广海 主分类号 G01R33/12(2006.01)I IPC主分类号 G01R33/12(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I 专利有效期 霍尔及气敏测量装置 至霍尔及气敏测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种霍尔及气敏测量装置。它包括与导轨(10)动配合连接的基座(12)上置有的样品座和位于导轨(10)轨迹两侧的一对永磁体,样品座为与真空室(2)连通的样品室(3),其中置有与测量部件(13)连接的接线器(4)和与测控部件(15)连接的电加热器(11),真空室(2)分别与真空部件(14)和配气部件(1)相连通;一对永磁体为与电磁部件(9)连接的一对线圈(6);真空部件(14)和配气部件(1)的控制端、电磁部件(9)的输入端与测控部件(15)的输出端连接,测控部件(15)的输入端与测量部件(13)的输出端连接。它能同时测试样品(5)的霍尔参数和气敏特性,以为研发纳米结构气敏传感器提供理论基础和指导意见。

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