| 专利名称 | 单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法 | 申请号 | CN201310066530.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103176231A | 公开（授权）日 | 2013.06.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 陈赟;王显军;李艳茹;张胜红;陈宝刚 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法 至单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法，属于基于干涉条纹的光学计量领域，解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化，且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅，包括金属基底，镀在所述金属基底上的非反射层和反射层，非反射层与反射层均为铬膜，非反射层的厚度比反射层的厚度小。本发明还提供单层膜反射式平面金属光栅的制作方法。本发明的单层膜反射式平面金属光栅采用单层镀膜，制作出的光栅线条较细(≤10μm)、信号对比度大(＞2∶1)、非反射层和反射层的牢固度好、易于工程化，且制作方法简单、成本低。 |
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