| 专利名称 | 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 | 申请号 | CN201110439964.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103173731A | 公开（授权）日 | 2013.06.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 郝俊英;郑建云 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 至一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法。该方法是利用氮等离子体轰击TiN/TiCN多层复合薄膜，经过处理的TiN/TiCN多层复合薄膜机械性能无明显变化，但整体薄膜的应力得到改善，且内部的TiN层的摩擦系数和磨损率均显著降低。 |
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