| 专利名称 | 碳化硅化学气相外延载物台装置 | 申请号 | CN201110437215.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103173737A | 公开（授权）日 | 2013.06.26 | 申请（专利权）人 | 上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 朱明星;石彪;陈义;刘学超;杨建华;施尔畏 | 主分类号 | C23C16/32(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/32(2006.01)I | 专利有效期 | 碳化硅化学气相外延载物台装置 至碳化硅化学气相外延载物台装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及化学气相沉积领域，具体涉及一种碳化硅化学气相外延载物台装置，该装置是分体式载物台装置，包括船型石英舟、石英托垫和石墨板。其中，船型石英舟前端为倾斜面，该倾斜面后为下凹平台面；石英托垫放置于石英舟下凹平台面上；石墨板放置于石英托垫上。本发明所述分体式载物台装置可用在水平式化学气相沉积反应室内，通过感应加热石墨板。本发明的优势在于：①沉积反应的气体流场和源物质分布均匀，气流扰动小；②对于大面积衬底，可以优化外延膜厚均匀性；③分体式设计可以降低使用成本并增加应用灵活性。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障