| 专利名称 | 一种多晶硅的制备方法 | 申请号 | CN201310131297.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103172070A | 公开（授权）日 | 2013.06.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院青海盐湖研究所 | 发明（设计）人 | 王舒娅;王树轩;邹兴武;祁米香;杨占寿 | 主分类号 | C01B33/035(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多晶硅的制备方法 至一种多晶硅的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种多晶硅的制备方法，该方法包括以下步骤：⑴制备锌蒸汽；⑵制备三氯氢硅/四氯化硅蒸汽；⑶锌蒸汽和三氯氢硅/四氯化硅蒸汽在硅芯棒表面发生化学沉积反应，生成固相硅并产生尾气A；⑷降温、分离尾气A，得到尾气B和液态氯化锌；⑸降温、分离尾气B，得到尾气C和液态三氯氢硅/四氯化硅；⑹尾气C与四氯化硅输入至HCL吸收塔内，通过喷淋四氯化硅吸收氯化氢，得到带有氯化氢的四氯化硅；⑺加热解析、分离带有氯化氢的四氯化硅，得到氯化氢和四氯化硅；⑻氯化氢与硅粉发生反应，得到提纯分离后的三氯氢硅/四氯化硅；⑼重复步骤⑵~⑻；⑽当硅芯棒直径达到120~180mm后，对硅芯棒进行降温，即得多晶硅。本发明工艺路线简洁、可实现连续反应。 |
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