| 专利名称 | 薄膜太阳能电池退火装置 | 申请号 | CN201220741993.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203013779U | 公开（授权）日 | 2013.06.19 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明（设计）人 | 刘壮;肖旭东;顾光一;贺凡;陈旺寿 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 薄膜太阳能电池退火装置 至薄膜太阳能电池退火装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，包括退火炉、多个加热壁及固定座。所述退火炉为中空结构，其内部为反应空间；所述多个加热壁间隔设置于所述退火炉中，将所述反应空间分割为多个退火腔，所述加热壁上设有加热器；所述固定座为“U”字形结构，其上开设插槽，所述基片的部分边缘卡设于所述插槽中，并与所述固定座一同收容于所述退火腔中。上述薄膜太阳能电池退火装置中，退火腔的空间较小，很容易达到硒或硫的饱和蒸汽压，防止硒或硫从基片中脱出，节省了硒或硫的用料。 |
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