游标狭缝式光电自准直仪

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专利名称 游标狭缝式光电自准直仪 申请号 CN201220514909.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203011354U 公开(授权)日 2013.06.19 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘爱敏;高立民;吴易明 主分类号 G01B11/26(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/26(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I 专利有效期 游标狭缝式光电自准直仪 至游标狭缝式光电自准直仪 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型提供一种精度高、可靠性好的游标狭缝式光电自准直仪。该游标狭缝式光电自准直仪,包括在主光路上依次设置的单色光源(1)、多狭缝(2)、分光镜(3)、准直物镜(4)、可转动的平面反射镜(5)以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD(6),多狭缝(2)与线阵CCD(6)共轭;所述多狭缝(2)由多个平行单狭缝组成,各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等;以线阵CCD作为主尺,多狭缝(2)的像作为游标尺,游标尺与主尺满足游标细分原理。本实用新型可广泛应用于高精度小角度精度测试,反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量等。

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