| 专利名称 | 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法 | 申请号 | CN201110421626.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103165488A | 公开（授权）日 | 2013.06.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 汪明刚;李超波;屈芙蓉;夏洋 | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 专利有效期 | 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法 至一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法，属于PIII技术领域。该方法基于PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置，能够对PIII工艺流程进行控制，并对PIII剂量和均匀性进行在线检测。 |
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