| 专利名称 | 狭缝装置及四刀狭缝 | 申请号 | CN201310099537.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103162825A | 公开（授权）日 | 2013.06.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院高能物理研究所 | 发明（设计）人 | 肖松文;朱涛;韩庆夫;段红星;王璐 | 主分类号 | G01J3/04(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/04(2006.01)I;F16H25/20(2006.01)I | 专利有效期 | 狭缝装置及四刀狭缝 至狭缝装置及四刀狭缝 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种四刀狭缝及其狭缝装置，所述狭缝装置包括：主体基板（1）；第一滑台（9）和第二滑台（2）；分别设置于第一滑台（9）和第二滑台（2）的两相对内侧的第一狭缝刀片（7）和第二狭缝刀片（5）；用于驱动第一滑台（9）相对于主体基板（1）滑动的主驱动机构；固定连接于第一滑台（9），用于驱动第二滑台（2）相对于主体基板（1）滑动的副驱动机构。本发明可以大大减小两根丝杠独立运动的误差，从而获得更高的狭缝开口精度，并可获得十几微米级别的狭缝。 |
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