| 专利名称 | 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法 | 申请号 | CN201110425176.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103160793A | 公开（授权）日 | 2013.06.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 郝俊英;郑建云 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法 至超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法。本发明采用直流磁控溅射物理气相沉积技术制备的TiN-TiCN多层复合薄膜材料，该薄膜薄膜厚度为9.5-24.0μm，质地均匀致密，表面光滑，弹性良好，附着性好，具有高的硬度和优异的抗磨损性能。可用于机械切割与钻孔的刀具和加工成型的模具上。 |
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