一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法

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专利名称 一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法 申请号 CN201110418928.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103160776A 公开(授权)日 2013.06.19 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;葛芳芳;王博;王怀勇 主分类号 C23C14/06(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 专利有效期 一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法 至一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种二硼化钛-镍涂层或者薄膜及其制备方法,其特征在于该涂层或者薄膜是以TiB2为主晶相,金属Ni为次晶相利用物理气相沉积技术原位复合而成的,其中TiB2含量为65-95at.%,Ni含量为5-35at.%;所述涂层或者薄膜的基板采用单晶硅、玻璃、高速钢、合金钢或者钛合金等,薄膜的厚度为20nm-1um;涂层的厚度为1um-1mm。本发明设计了一种新涂层材料体系,即原位合成的金属Ni增韧的TiB2涂层或者薄膜,涂层硬度高达25GPa以上,导电性能良好,同时具有良好的韧性和抗腐蚀、抗烧蚀性能及优异的摩擦、磨损性能,可以广泛应用于刀具、模具、电接触、防护等领域;并且制备工艺简单,生产周期短,成本低,便于大规模工业化生产。

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