| 专利名称 | 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 | 申请号 | CN201110427990.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103160801A | 公开（授权）日 | 2013.06.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 张俊彦;张斌;强力;杨涛;郑愉 | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 专利有效期 | 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 至在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法，具体是利用等离子体化学气相沉积技术，在内表面制备高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性和低粘着力的类金刚石薄膜的方法。本发明能够在发动机缸套、储油罐内壁、排气管道、消音器等内壁沉积高结合力类金刚石薄膜。 |
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