| 专利名称 | 自组织单量子点的定位方法及装置 | 申请号 | CN201310056260.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103163109A | 公开（授权）日 | 2013.06.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 尚向军;倪海桥;査国伟;喻颖;李密峰;王莉娟;徐建星;牛智川 | 主分类号 | G01N21/64(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/64(2006.01)I | 专利有效期 | 自组织单量子点的定位方法及装置 至自组织单量子点的定位方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种自组织单量子点的定位装置和方法，其装置包括：激光器，其用于产生激发光，激发量子点样品中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光，对单量子点微区光刻胶曝光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面微区，并收集所述微区中量子点的荧光光束，其还用于扫描样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其方法是：在所述荧光光谱找到单量子点对应的分立谱线后停止扫描，打开所述紫外光对当前扫描的样品表面微区光刻胶曝光，以定位单量子点。本发明避免了平面阵列版图工艺在定位单量子点微区上的盲目性，达到了原位准确定位单量子点的目的，提高了单光子源器件的成品率。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障