专利名称 | 周期阵列的局域等离子体共振传感器 | 申请号 | CN201310082710.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103163104A | 公开(授权)日 | 2013.06.19 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 宋国峰;刘杰涛;许斌宗;胡海峰;王立娜 | 主分类号 | G01N21/41(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/41(2006.01)I | 专利有效期 | 周期阵列的局域等离子体共振传感器 至周期阵列的局域等离子体共振传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种周期阵列的局域等离子体共振传感器,包括:一衬底;多个传感器单元,其排布在衬底的表面,组成周期阵列结构。本发明,具有传感高灵敏度,窄共振线宽,高信号调制深度,大范围探测角度容忍度的优点。 |
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