周期阵列的局域等离子体共振传感器

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专利名称 周期阵列的局域等离子体共振传感器 申请号 CN201310082710.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103163104A 公开(授权)日 2013.06.19 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 宋国峰;刘杰涛;许斌宗;胡海峰;王立娜 主分类号 G01N21/41(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/41(2006.01)I 专利有效期 周期阵列的局域等离子体共振传感器 至周期阵列的局域等离子体共振传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种周期阵列的局域等离子体共振传感器,包括:一衬底;多个传感器单元,其排布在衬底的表面,组成周期阵列结构。本发明,具有传感高灵敏度,窄共振线宽,高信号调制深度,大范围探测角度容忍度的优点。

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