| 专利名称 | 双腔气体激光器的温度控制装置 | 申请号 | CN201220590576.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202997291U | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王魁波;丁金滨;刘斌;周翊;王宇;赵江山 | 主分类号 | H01S3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/00(2006.01)I;H01S3/041(2006.01)I;G05D23/19(2006.01)I | 专利有效期 | 双腔气体激光器的温度控制装置 至双腔气体激光器的温度控制装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种双腔气体激光器的温度控制装置，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统和用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统。本实用新型能够自动、准确的控制放电腔内气体温度，从而确保激光器具有较高的能量转换效率和能量稳定性，并且能大幅度降低热机时间，提高激光器使用寿命。 |
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