| 专利名称 | 光纤光栅传感器 | 申请号 | CN201220661628.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202994328U | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 范元媛;沙鹏飞;宋兴亮;赵江山;李慧;鲍洋;周翊;王宇 | 主分类号 | G01K11/32(2006.01)I | IPC主分类号 | G01K11/32(2006.01)I | 专利有效期 | 光纤光栅传感器 至光纤光栅传感器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种精确测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器，包括：由再涂覆后的光纤光栅传感头(1)、连接在光纤光栅传感头(1)一端的传输光纤(2)，以及充满不锈钢管(5)内部的导热胶(3)组成的光纤光栅传感元；可插入待测腔体的、封装光纤光栅传感元的表面镀镍的不锈钢管(5)；设置在不锈钢管(5)周圈的固定环臂(6)、固定环臂(6)上的固定螺孔(7)，和固定环臂(6)内侧的密封圈(10)；设置在不锈钢管(5)开口顶端的光缆衔接管(4)、开口顶端凸出的出线管(9)，和出线管输出的光缆(8)。本实用新型可用于高压、强腐蚀性环境下温度的测量，可靠性高，寿命长。 |
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