| 专利名称 | 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔 | 申请号 | CN201310054167.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103151679A | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 丁金滨;刘斌;沙鹏飞;王宇;周翊;赵江山 | 主分类号 | H01S3/03(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/03(2006.01)I;H01S3/036(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I | 专利有效期 | 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔 至基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。所述腔体内设置两套风机叶轮来驱动气体，以保证每次经过放电区的气体为新鲜气体；并且，所述风机叶轮为贯流风机叶轮。本发明通过一个单腔结构实现双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。同时，在放电腔中采用的叶轮中风叶的布局方式，可以提高风机轴向的均匀性，并降低风机系统的噪声。 |
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