| 专利名称 | 一种浸没式紫外光学系统 | 申请号 | CN201310062008.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103149808A | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远;冉英华 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种浸没式紫外光学系统 至一种浸没式紫外光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种浸没式紫外光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该浸没式紫外光学系统，沿其光轴方向包括第一单元、第二单元、第三单元、第四单元和第五单元。从光束入射方向依次排布第一单元组L1具有正折光力，第二单元组L2具有正折光力，第三单元组L3具有正折光力，第四单元组L4具有负折光力，第五单元组L5具有负折光力。本发明的浸没式紫外光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。 |
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