| 专利名称 | 光刻机设备用离轴照明装置 | 申请号 | CN201310096136.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103149809A | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨宝喜;宋强;朱菁;陈明;胡中华;肖艳芬;刘蕾;王俊;张方;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机设备用离轴照明装置 至光刻机设备用离轴照明装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双二极照明，双四极照明。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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