| 专利名称 | 一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法 | 申请号 | CN201210585537.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103149455A | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 方晓东;邵景珍;游利兵;梁勖 | 主分类号 | G01R29/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R29/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法 至一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法，采用电磁辐射在线检测分析设备进行监测，根据准分子激光系统的结构和电路特点，选择合适种类的探测器，并设定检测方位、检测距离、检测时间，利用电磁辐射在线检测分析设备探测来自准分子激光系统中各个主要电磁辐射源及准分子激光系统整体的电磁辐射信号；探测器探测到的电磁辐射信号被信号采集处理器采集后得到电磁辐射数据，信号显示和分析仪器中进行分析后得到准分子激光系统中各个主要电磁辐射源的电磁辐射信号强度、传输和变化特性。 |
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