专利名称 | 提拉泡生法生长晶体的装置 | 申请号 | CN201310116108.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103147121A | 公开(授权)日 | 2013.06.12 | 申请(专利权)人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明(设计)人 | 陈伟超;李红军;钱小波;徐军;唐慧丽;胡克艳;王静雅;汪传勇;吴锋;唐飞 | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 专利有效期 | 提拉泡生法生长晶体的装置 至提拉泡生法生长晶体的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种提拉泡生法生长晶体的装置,所述装置包括:夹持籽晶的复合型籽晶杆(2),所述复合型籽晶杆(2)包括可相互分离或接合的主水冷杆(19)与籽晶夹具(21),所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)能够独立地上下运动和顺逆旋转运动;容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚(11);以及温场调节单元,所述温场调节单元包括发热体(7)、上保温罩(8)、侧保温层(3)和下保温层(10),所述上保温罩(8)位于所述坩埚(11)的上方且能够升降,所述发热体(7)位于所述坩埚(11)和侧保温层(3)之间。 |
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