| 专利名称 | 用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置 | 申请号 | CN201310093540.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103149618A | 公开（授权）日 | 2013.06.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张运波;曾爱军;黄惠杰 | 主分类号 | G02B5/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/20(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置 至用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置，特点在于其构成依次包括表面镀膜的第一光栅、对于13.5nm光谱具有高透过率的薄金属片和表面镀膜的第二光栅，所述的第一光栅、第二光栅与薄金属片表面互相平行，第一光栅和第二光栅的线条方向相互垂直，光栅常数为10～150nm，占空比为40%～60%，厚度为1～10mm。薄金属片由锆或钼制成，厚度0.1～5mm。本发明装置结构简单，使激光等离子体辐射的光谱纯化。 |
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