| 专利名称 | 一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器 | 申请号 | CN201210524216.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102967380A | 公开（授权）日 | 2013.03.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 王帅;杨平;许冰;刘文劲;雷翔;晏虎;董理治;高源;程生毅 | 主分类号 | G01J11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J11/00(2006.01)I;G01D5/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器 至一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，由相位型空间光调制器、微透镜阵列、单模光纤阵列和单元光敏探测器阵列组成，相位型空间光调制器同时对哈特曼波前传感器每个子孔径内子光波进行前两阶二元相位调制，微透镜阵列位于相位调制器之后，将调制后的子光波分别耦合进入置于其焦平面的单模光纤阵列中实现选模滤波，选模滤波后的光强被单元光敏探测器阵列接收，通过处理光强数据求解每个子孔径内的波前斜率信息，最终用哈特曼波前传感器波前模式复原算法重构整个入射光波波前。本发明减少了探测单元数量，避免光斑离散采样导致波前测量精度下降问题，使得波前探测精度不受探测单元数的减少的影响，可以应用于高速、高精度波前探测领域。 |
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