一种基于光栅的相位差波前传感器

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专利名称 一种基于光栅的相位差波前传感器 申请号 CN201110223107.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102331303A 公开(授权)日 2012.01.25 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 罗群;饶长辉;黄林海;顾乃庭 主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 一种基于光栅的相位差波前传感器 至一种基于光栅的相位差波前传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种基于光栅的相位差波前传感器,由光栅,透镜,分光镜,CCD成像探测器和计算机等器件组成。含有波前畸变的平行光束垂直辐照于光栅表面,经光栅透射后光束被分成强度不等、相位相同的多束光,经透镜成像于CCD光敏面上。根据两个或多个光栅衍射光斑并利用相应的算法,可以更为准确地计算出光斑的光强分布。计算机根据焦面和离焦面光强分布可复原得到待测的波前畸变信息。本发明能够使用CCD成像探测器采集到通常情况无法测量的光强分布的高频成分,有效地提高了相位差法波前传感器的检测精度,在光学检测、自适应光学、高分辨率成像等领域优势明显。

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