| 专利名称 | 一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统 | 申请号 | CN201210589804.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103095200A | 公开（授权）日 | 2013.05.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王德坤;谢朝辉;赵明琦;刘海南;周玉梅;黑勇 | 主分类号 | H02P8/14(2006.01)I | IPC主分类号 | H02P8/14(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统 至一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统，该旋转装置包括控制器、电机、以及分别与控制器和电机连接的驱动器，其中：控制器用于接收不同的第一控制请求，并依据第一控制请求向驱动器发送相应的第一控制指令；驱动器依据第一控制指令驱动电机转动或者停止；该电机转动或停止时，用于带动测试母板转动或停止，测试母板上设置多个测试子板，通过该旋转装置可以增加测试子板的个数和被测器件的数量，使得在进行单粒子效应模拟试验时，减少了更换被测器件的次数，解决现有技术中，由于每次测试的被测器件数量有限，需要频繁更换被测器件而使得操作繁琐的问题，且每次更换被测器件时进行抽真空操作浪费加速器资源的问题。 |
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