两维大口径透射式快速反射镜

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专利名称 两维大口径透射式快速反射镜 申请号 CN201210570376.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102981244A 公开(授权)日 2013.03.20 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 徐新行;韩旭东;刘长顺;王兵 主分类号 G02B7/198(2006.01)I IPC主分类号 G02B7/198(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I;G02B7/183(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I 专利有效期 两维大口径透射式快速反射镜 至两维大口径透射式快速反射镜 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种两维大口径透射式快速反射镜,包括:支撑基座、镜体支撑板、合束镜、镜体压块、3个驱动器组件以及3个柔性铰链。本发明的两维大口径透射式快速反射镜,通过椭圆形弹性外框实现了压电陶瓷驱动器驱动方向的垂直转变,较压电陶瓷直接驱动的应该方式,大幅度增加了驱动器的抗剪切性能,并且将驱动器的行程放大2~4倍;3点分散式柔性支撑实现了快速反射镜的中心通透,从结构原理上保证了快速反射镜可用于不同波段激光的精确合束与对准,且使合束镜可沿Z轴平移,实现了快速反射镜对光束偏移位置的调整;采用电阻式应变片对合束镜的偏转角度进行间接测量,结构简单、实现方便,并且有利于两维大口径透射式快速反射镜的小型化。

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