| 专利名称 | 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 | 申请号 | CN201210206727.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102722016A | 公开（授权）日 | 2012.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 赵磊;巩岩;倪明阳;孙振 | 主分类号 | G02B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 至光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域，为解决光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题，该装置包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器；镜框和镜筒通过三个运动支链连接；每个运动支链均由第一柔性万向铰、驱动器和第二柔性万向铰组成，驱动器位于第一柔性万向铰的下面，第二柔性万向铰位于驱动器下面，三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布；每对双电容传感器的上电极板和下电极板分别固定在镜框和镜筒上，且三对双电容传感器周向间隔120°均匀分布，本发明基于3-TPT机构，实现光学元件的Z、tip、tilt三自由度精密微动调整。 |
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