移位测量装置

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专利名称 移位测量装置 申请号 CN201210088557.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102620658A 公开(授权)日 2012.08.01 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 曾琪峰;孙强;李也凡;张立华;甘泽龙 主分类号 G01B11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/02(2006.01)I 专利有效期 移位测量装置 至移位测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 移位测量装置,涉及一种移位测量装置,为进一步提高信号的平均作用,需要在同样的探测单元数量的情况下,包含更多的探测周期,尽量在设计体积要求更小,或者光源的光斑所占的面积较小等制约下提高信号质量,包括标准光栅和光电读数头,光电读数头包括光源、指示光栅、光电接收单元和信号处理电路。光电接收单元由多个探测单元组成,多个探测单元组成探测单元阵列,并分成三个组,同相位的探测单元属于同一个组,同一个组的探测单元是相互连接的。光电接收单元探测至少一个周期性扫描信号。该光源发出入射光线,经由该扫描掩膜和该标准光栅调制,该光电接收单元接收经过调制的光信号。本发明所述的移位测量装置能有效提高信号的抗污染能力。

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