| 专利名称 | 一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法 | 申请号 | CN201110139739.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102254774A | 公开（授权）日 | 2011.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 江南;曹则贤;纪爱玲 | 主分类号 | H01J37/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法 至一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种活性气体流发生装置，包括：介电材料管，其内部流过工作气体；高压电极，与介电材料管相接触，并连接到交流电压源；第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，其中所述交流电压源向高压电极提供低于预定阈值电压的电压，以产生活性气体流。本发明还提供一种产生活性气体流的方法，包括：向介质材料管中通入工作气体；向高压电极上施加一低于阈值电压的电压，以使得介电材料管的出口流出中性活性气体。 |
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