| 专利名称 | 一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测装置 | 申请号 | CN201010623893.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102096337A | 公开（授权）日 | 2011.06.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 陈铭勇;胡松;李艳丽 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测装置 至一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于投影光刻中球面或曲面的偏心及焦面位置的检测系统由照明系统、检焦标记投影系统、检焦标记检测放大系统及CCD检测系统组成。在本发明中，通过引入多次反射棱镜，将信号光分为多束，通过检测被检球面反射光信号来同时获得球面的偏心量和离焦量，实现球面曝光表面的焦面检测。 |
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