平整度检测装置和方法

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专利名称 平整度检测装置和方法 申请号 CN201210319325.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102853786A 公开(授权)日 2013.01.02 申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 发明(设计)人 程俊;陶大程;沈三明;姜军 主分类号 G01B11/30(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/30(2006.01)I 专利有效期 平整度检测装置和方法 至平整度检测装置和方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种平整度检测装置包括:激光模块,用于发射线形激光;传感模块,用于获取激光照射在待检物体不同位置的多幅检测图像;图像处理模块,用于得到多条激光图像;偏移计算模块,用于计算出激光图像上各个点相对于预设基准面的图像偏移量;位移计算模块根据图像偏移量以及预设算法计算出实际偏移量;构图模块,用于依据实际偏移量建立与各条激光图像对应的波形图;统计模块,用于将多个波形图相加,得到一条检测曲线;平整度计算模块,用于将检测曲线与预设的标准曲线比较,得到待检物体的平整度。本发明还提供一种对应方法。上述装置和方法利用光学原理以及简单的二维成型数据处理便可以完成平整度检测,相对传统技术计算量更小,检测时间短。

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