| 专利名称 | 基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法 | 申请号 | CN201210303465.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102854757A | 公开（授权）日 | 2013.01.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 闫观勇;王向朝;徐东波 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法 至基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法。本发明采用6个方向孤立空作检测标记，通过对检测标记空间像的线性拟合来得到波像差。本发明首先建立描述0°孤立空空间像与泽尼克像差关系的线性拟合矩阵以及描述孤立空方向影响的旋转矩阵。然后通过空间像传感器扫描获得检测标记的空间像。再利用线性拟合矩阵和旋转矩阵对空间像进行最小二乘拟合得到泽尼克像差。本发明降低了检测标记的复杂程度，减少了像差检测的时间，增加了可测像差种类，提高了像差求解的精度。 |
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