一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法

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专利名称 一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法 申请号 CN201110187773.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102344131A 公开(授权)日 2012.02.08 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 吴渊文;于广辉;师小萍;王彬;张燕辉;陈志蓥 主分类号 C01B31/04(2006.01)I IPC主分类号 C01B31/04(2006.01)I 专利有效期 一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法 至一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法,包括:将钼催化剂放入无氧反应器中,使催化剂的反应温度达到500-1600℃;向无氧反应器反应器中通入含碳气体,在0.1-760torr下反应0.1-9999min,待炉内温度冷却至室温,得到含有石墨烯薄膜的钼金属衬底;去除钼催化剂,即得石墨烯薄膜。本发明重复性高、简单易行;所得石墨烯薄膜具有大面积、层数可控、分布均匀的特点。

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