| 专利名称 | 基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法 | 申请号 | CN201210253385.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102768474A | 公开（授权）日 | 2012.11.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨济硕;王向朝;闫观勇;徐东波 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法 至基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法，该方法利用主成分分析和多元线性回归分析的方法，建立了空间像光强分布与泽尼克系数之间的二阶关系模型，并利用非线性最小二乘法，优化算得表征投影物镜成像质量的波像差值。与基于空间像主成分分析的线性关系模型（AMAI-PCA）相比，本发明拓展了测量像差的幅值范围，当波像差幅值相等时，本发明拥有更高的测量精度。 |
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