| 专利名称 | 激光程控气体浓度检测系统及检测方法 | 申请号 | CN200910237838.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102062722A | 公开（授权）日 | 2011.05.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 孙可;谢亮;鞠昱;韩威;王欣;祝宁华 | 主分类号 | G01N21/17(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/17(2006.01)I;G01N21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 激光程控气体浓度检测系统及检测方法 至激光程控气体浓度检测系统及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种激光程控气体浓度检测系统，包括：一程序控制处理器；一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯；一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置；一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中，另一端与程控电流源连接；一光电探测器安装在柱形气室的另一端；一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号，该微电流检测计与程序控制处理器通讯；一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上，该信号发生器与程序控制处理器通讯；一锁相放大器采集光电探测计上的信号，该锁相放大器与程序控制器通讯。 |
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