大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法

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专利名称 大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法 申请号 CN201010568739.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102062678A 公开(授权)日 2011.05.18 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 张春香;朱宝强;唐顺兴;缪洁;高妍琦;惠宏超;郭亚晶 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法 至大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法,装置由光学系统、光电转换和机械控制系统及信号处理系统构成。光学系统包括固体激光器、起偏器、用于调整光路和预成像的可见光光源及其扩束系统、分光棱镜和衰减片;光电转换和机械控制系统包括光电探测器、科学级网络CCD和元件支撑平台;信号处理系统由数据采集卡、网线和计算机组成。科学级网络CCD实现所述光电探测器上光斑位置的监测,反馈调整探测器至最佳位置,同时也监测反射或透射光束的宏观分布图,反映反射率或透射率的均匀性。本发明装置和方法具有结构简易、调整方便、效率和精度高的特点,重复测量精度达到0.05%。

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