| 专利名称 | 真空系统氦气恒压控制装置 | 申请号 | CN201020541758.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201788423U | 公开（授权）日 | 2011.04.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 发明（设计）人 | 佘磊;杨玉娜;柳浩;屈万成;李交美 | 主分类号 | G05D16/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G05D16/20(2006.01)I | 专利有效期 | 真空系统氦气恒压控制装置 至真空系统氦气恒压控制装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种真空系统氦气恒压控制器。该装置利用真空规的测量真空系统中的氦气压强信号，并将该压强信号和设定值比较产生反馈信号，通过该反馈信号调节过滤式氦气微漏阀（下文简称氦漏，见专利CN1479031A）的加热功率，最终使得真空系统的氦气压强达到设定值。该装置及方法具有如下优点:该装置利用真空规直接反馈压强信号，通过该反馈信号控制氦漏加热丝的加热功率，调节氦气的渗透率，实现对注入真空系统中氦气压强的直接控制，不受环境温度、真空泵抽速及氦漏两边氦气压强差变化的影响；该控制器利用脉宽调制实现对氦漏加热功率即氦气渗透率的控制，对注入真空系统中氦气压强具有较高的控制灵敏度。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障