| 专利名称 | 一种微电子机械传感器的选择性模态自激励方法及装置 | 申请号 | CN201010566556.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102062787A | 公开（授权）日 | 2011.05.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 发明（设计）人 | 付号;曹更玉 | 主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I;G01H9/00(2006.01)I;G01N33/48(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微电子机械传感器的选择性模态自激励方法及装置 至一种微电子机械传感器的选择性模态自激励方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种微电子机械传感器的选择性模态自激励方法及装置，其步骤是：A、构建微型光学谐振腔；B、产生稳定的激光；C、调节光学谐振腔工作点；D、调节被动光学反馈控制系统反馈的增益。光学系统通过单模光纤与微位移调节装置中压电陶瓷微位移调节装置相连，微位移调节装置通过步进式位移调节平台同微电子机械传感器固定与调节装置中微电子机械传感器固定装置连接，微电子机械传感器安装在微电子机械传感器调节装置上。该方法简单、高效、成本低，操作简单，适用面广。可以在保留微电子机械传感器的高灵敏度的同时实现微电子机械传感器各个模态的选择性自激励，显著提高高灵敏度微电子机械传感器的响应速度。 |
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