| 专利名称 | 一种投影光刻机中的光束稳定装置 | 申请号 | CN201010256374.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101963765A | 公开（授权）日 | 2011.02.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐文祥;邢薇;罗正全;马平;王建 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影光刻机中的光束稳定装置 至一种投影光刻机中的光束稳定装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。 |
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