一种气体激光器放电腔的电极机构

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专利名称 一种气体激光器放电腔的电极机构 申请号 CN201210266544.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102761047A 公开(授权)日 2012.10.31 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 陈进新;王宇 主分类号 H01S3/038(2006.01)I IPC主分类号 H01S3/038(2006.01)I 专利有效期 一种气体激光器放电腔的电极机构 至一种气体激光器放电腔的电极机构 法律状态 授权 说明书摘要 本发明公开了一种电极机构,用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极,该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极,该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极工作位置的下方的调节机构,用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。所述传动机构可为履带式结构,其包括主动轮、从动轮和围绕主动轮和从动轮的履带,所述多个电极安装于所述履带上。本发明能实现电极在多个自由度的运动,达到不打开放电腔就能调整电极的位置和角度的效果,确保气体激光器的放电腔具有优良的放电性能,延长放电腔的使用寿命。

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